特長

1. 1. ハイスピード検査

   独自の検査ヘッドと高速画像処理エンジン搭載により、従来比1.5倍のハイスループットを実現。ウェーハ内のチップサイズや個数に影響を受けずに、高い生産性を実現します。

2. 2. 高解像度対応

   1.0μmの高解像度レンズを新たに採用し、より高精度な検査に対応。さらに解像度の異なるレンズを同時に搭載でき、3段階の切替がレシピで容易に行えます。

3. 3. ユーザーフレンドリーな操作性

   簡単操作で短時間でのレシピ作成が可能。ウェーハサイズの切替もスイッチひとつで行えます。さらに薄ウェーハにも、装置内パーツを交換せずに容易に対応できます。