特長

SK-60EX/SK-80EXは、多様化する電子デバイス製造ニーズに応えるため、対応アプリケーションと機能を充実させました。また、基本システムの性能の向上を図り、将来にわたって安心してご使用いただける装置となっています。

1. 1. ロングセラー 60／80シリーズの高い実績と信頼性を継承

   SK-60EX/SK-80EXでは、多くの実績を持つ60／80シリーズで裏付けられた「高信頼性への設計思想」を継承。ご利用いただく環境に対し柔軟かつ安定した性能を提供します。また、これまでの60／80シリーズで培った技術の踏襲と、その機能アップを図り、先端分野や特殊用途向け機能についても対応します。

2. 2. 将来の拡張性にも安心して対応できる制御システムへの刷新

   常に進化を続ける60／80シリーズ。将来にわたり安心してご使用いただけるように、制御システムを刷新しました。このシステム強化により、進化し続ける電子デバイス製造の中で求められる新たなニーズに対し、柔軟かつ迅速な対応が可能です。

3. 3. 60／80シリーズとの基本互換性を維持

   操作環境および画面構成を拡張しつつ、レシピ作成の基本思想は共通化しており、すでに60／80シリーズの操作に慣れた方々にも優しい環境をご提供します。
   また、60／80シリーズとプロセスレシピデータの互換性を維持しており、SK-60EX/SK-80EXへの良好な移植性を確保。スムーズな増設計画に対応します。

4. 4. 多様な基板へのフレキシブルな対応

   薄ウェーハ、厚基板、アルチック・フェライト系磁性材料基板、ガラス基板、LT基板、サファイア基板、両面パターン付基板など、基板特性を考慮し、最適化されたさまざまな選択オプションを用意。その組み合わせから、多種・多様な基板に対応します。

5. 5. 先端技術開発で培った機能対応

   多様化する電子デバイス開発の中で、先端プロセス機能が求められる場合、さまざまな選択オプションのご提供とともに、そのプロセス実現に向けて各種サポートを行います。