特長

1. 1. オールインワンコンセプト

   薬液供給ユニットおよび冷却ユニットを本体内部に搭載。
   当社従来装置との比較で約45％の省スペース化を実現しました。

2. 2. 多様な処理ウェーハに対応

   1台の装置で、50mmから200mmまで幅広いサイズに対応します。

3. 3. 新乾燥ユニットをラインアップ

   従来のDIS（Drain & IPA Substitution）乾燥に加えて、IPAを使用しない環境に優しい温風乾燥方式（HBD: Hot Blow Drying）を新たにラインアップ。お客さまの使用条件に応じて選択が可能です。

4. 4. フレキシブルな拡張性

   お客さまの生産性と導入スペースに応じて、処理槽数を4・6・8槽と拡張可能です。

5. 5. 生産性アップ

   従来比1.5倍の毎時150枚の生産を実現。

6. 6. RCA洗浄に対応

   半導体洗浄で従来から主流となっている、歩留まり向上に有効なRCA洗浄にも対応します。